半導體芯片氣動搬運機械手設計
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- 摘 要
本文設計了一種用于半導體芯片自動化生產線中的搬運氣動機械手。該機械手實現芯片的抓取、釋放以及搬運等4個自由度的動作，結構合理，動作準確迅速，安全可靠性高。采用日本三菱公司的FX2N系列PLC對機械手的上下、左右、回轉以及芯片吸取運動進行自動化控制。利用可編程技術結合相應的硬件裝置控制機械手完成搬運動作，來配合和實現生產上的要求。該氣動機械手作為特定工位的搬運機械手，能夠取代國外進口的的多功能通用機械手，節約設備成本和維護成本80%以上，在自動化生產國產化進程中具有積極的意義。
本人在實習單位的工作中發現在自動化生產線中為了便于實現柔性制造，大部分機械手都是6自由度通用機械手，它采用模塊化安裝，改變工位動作時只需改變相應程序即可。然而用通用機械手去執行特定簡單工位的動作，是一種生產資源的浪費。在當今社會追求高效，節約的大環境下，本人結合工作實際設計了一款能滿足特殊工位使用的機械手。
關鍵詞：機械手；PLC；氣動控制；
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